{ "item_title" : "Mikrosystemtechnik", "item_author" : [" Ulrich Hilleringmann "], "item_description" : "Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erlautert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien fur Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknupfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die moglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflachenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezuglich ihrer Kompatibilitat zur Mikroelektronik bewertet.", "item_img_path" : "https://covers4.booksamillion.com/covers/bam/3/83/510/003/3835100033_b.jpg", "price_data" : { "retail_price" : "39.99", "online_price" : "39.99", "our_price" : "39.99", "club_price" : "39.99", "savings_pct" : "0", "savings_amt" : "0.00", "club_savings_pct" : "0", "club_savings_amt" : "0.00", "discount_pct" : "10", "store_price" : "" } }

Overview

Customers Also Bought

Details